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运行 13 年——COBRA BC 创下 GlobalFoundries Fab 1 的里程碑

持续运行十三年。这相当于以 50Hz 运转 211 亿转以上。2018 年 1 月中旬,COBRA BC 干式螺杆真空在一家德国半导体制造厂创下了这一非凡的里程碑,佐证了其在坚固性、可靠性和低维护方面长期享有的美誉。

运行 13 年——COBRA BC 创下 GlobalFoundries Fab 1 的里程碑

自 2005 年以来,这台 COBRA BC 真空泵在德国德累斯顿的 GlobalFoundries 生产厂 Fab 1 连续运行,是这里运行时间最长的 COBRA BC 真空泵。德累斯顿的 Fab 1 是全球首家工业化量产制造铜线微芯片的生产基地,该技术现在是全球半导体生产的基础。

德累斯顿基地安装了总计 194 台 COBRA BC 0100 干式螺杆真空泵,用于半导体工业中的

300 mm 晶片生产。其中 47 台 COBRA BC 已经连续运行 10 多年,22 台 COBRA BC 已经达到运行 100,000 小时(运行 11 年以上)的里程碑。一般来说,在负载锁定应用中,连续运行超过五年或六年就已经是行业的预期了。

COBRA BC 真空泵主要用于外延和物理气相沉积(PVD)工艺的真空进样室应用,以及在其他无尘流程中的晶片处理和标准衡量,以此确保光刻工艺的质量。

COBRA BC 0100 F 是久经考验的 COBRA BC 系列产品组合中的干式螺杆真空泵,处理能力更加强大,可以为要求最为苛刻的太阳能、平板显示器和半导体应用提供世界一流的紧凑型、高负荷和大流量真空进样室解决方案。因其独特的螺杆泵设计,该真空泵具备卓越的粉尘处理能力。

COBRA BC 系列也提供 COBRA BC Premium Efficiency 级产品,能耗足迹更低,因此耗电量的下降可高达 40%。Premium Efficiency 级产品基于久经考验的 COBRA BC 技术平台。

普旭(Busch)在德累斯顿拥有一支服务团队,包括九名技术服务人员和一位团队主管,提供每天 24 小时、每周 7 天的全天候服务,确保了已安装的数百台 普旭(Busch)真空泵极高的系统使用率。另外,该服务团队还提供废气净化系统维护服务。

GlobalFoundries 是全球顶级半导体公司之一,在德累斯顿的生产基地生产 40nm 至 22 nm 的工艺节点。其德累斯顿生产基地是欧洲生产微芯片的最大生产基地。

标签: 普旭  

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